Hanganga o Piezoresistive Sensor

I roto i tenei pūoko, ka whakauruhia te riipene parenga ki runga i te diaphragm silicon monocrystalline na roto i te tukanga whakauru ki te hanga i te maramara piezoresistive silicon, a ka mau te taha o tenei maramara ki roto i te anga, ka arahina atu nga arataki hiko ki waho. Ko te pūoko pehanga piezoresistive, e mohiotia ana ko te pūoko pehanga totoka, he rereke mai i te ine riaka whakapiri, me rongo au i te kaha o waho na roto i nga huānga tairongo rapa, engari ka rongo tonu i te pehanga ine na roto i te diaphragm silicon.

Ko tetahi taha o te diaphragm silicon he kohao teitei e korero ana me te pehanga ine, ko tetahi atu taha he kohanga iti-pene e korero ana ki te hau. Ko te tikanga, ka hangaia te diaphragm silicon hei porowhita me te taha mau tonu, a ko te ōwehenga o te diameter ki te matotoru e tata ana ki te 20 ~ 60. E wha nga takai aukati poke P ka horahia ki te rohe i runga i te diaphragm silicon porohita ka hono ki te piriti katoa, e rua o enei. kei roto i te rohe ahotea kōpeke me era atu e rua kei roto i te rohe ahotea tensile, he hangarite ki te waenganui o te diaphragm.

I tua atu, i reira e hoki tapawha silicon diaphragm me silicon tīwae pūoko. Ko te pūoko porotakaro silicon he mea hanga ano ki nga takai aukati ma te whakamaarama ki tetahi huarahi o te rererangi karaihe o te rango silicon, a e rua nga takai aukati ahotea me nga takai ahotea e rua hei piriti katoa.

Ko te pūoko piezoresistive he taputapu i hangaia ma te whakamarumaru i runga i te tïpako o te rauemi semiconductor e ai ki te paanga piezoresistive o te rauemi semiconductor. Ka taea te whakamahi tika i tana tïpako hei puoko ine, a, ka honoa te parenga o te diffusion i roto i te tïpako i te ahua o te piriti.

I te wa e paheke ana te tïpako i te kaha o waho, ka huri nga uara parenga ka puta mai te piriti i nga putanga kore taurite. Ko nga taputapu (he diaphragms ranei) e whakamahia ana hei pukoro piezoresistive ko te nuinga he angiangi silicon me te angiangi germanium. Ko nga pūoko piezoresistive Silicon i hangaia mai i nga angiangi silicon na te mea ko nga rauemi tairongo kua kaha ake te aro, ina koa ko nga pūoko piezoresistive totika mo te ine i te pehanga me te tere te mea tino whakamahia.