E tika ana ki te wahie Passat pūoko pehanga tereina 06E906051K

1. He tikanga mo te hanga pukoro pehanga, kei roto:

Te whakarato i te tïpako hikohiko, ka hangaia he paparanga dielectric interlayer tuatahi, he papanga dielectric interlayer tuatahi me tetahi paparanga dielectric interlayer tuarua ki runga i te tïpako semiconductor.

He pereti hiko o raro i te paparanga dielectric interlayer tuatahi, he hiko tahi tuatahi kei runga i te paparanga rite ki te paparanga hiko o raro me te mokowhiti.

Paparanga hono;

Te hanga i te paparanga patunga tapu ki runga ake i te pereti polar raro;

Te hanga i tetahi pereti hiko o runga i runga i te paparanga dielectric interlayer tuatahi, te paparanga honohono tuatahi me te paparanga patunga tapu;

I muri i te hanga i te paparanga patunga tapu me mua i te hanga i te pereti o runga, i te paparanga honohono tuatahi

Te hanga i te riu hononga, me te whakakii i te riu hononga ki te pereti o runga ki te hono hiko ki te paparanga hononga tuatahi;Ranei,

I muri i te hanga i te pereti hiko o runga, ka hangaia nga awaawa hono i roto i te pereti hiko o runga me te paparanga honohono tuatahi, e

Te hanga i tetahi paparanga whakahaere e hono ana i te pereti hiko o runga me te paparanga honohono tuatahi i roto i te riu hononga;

I muri i te hiko o te hono i te papa o runga me te paparanga hono tuatahi, ka tango i te paparanga patunga tapu ki te hanga i te kohao.

2. Ko te tikanga mo te hanga i te puoro pehanga kia rite ki te kereme 1, kei roto i te paparanga tuatahi

Ko te tikanga mo te hanga i te paparanga patunga tapu i runga i te paparanga dielectric interlayer ko nga waahanga e whai ake nei:

Te whakatakoto i tetahi paparanga taonga ki runga i te paparanga dielectric interlayer tuatahi;

Te whakatauira i te paparanga taonga ki te hanga i te paparanga patunga tapu.

3. Ko te tikanga mo te hanga i te pukoro pehanga e ai ki te kerēme 2, e whakamahia ai te whakaahua whakaahua me te whakairo.

Ka whakatauirahia te paparanga mea patunga tapu e te tukanga tarai.

4. Ko te tikanga mo te hanga i te pukoro pehanga kia rite ki te kerēme 3, kei reira te paparanga patunga tapu

Ko te mea he waro amorphous, germanium ranei.

5. Ko te tikanga mo te hanga i te pukoro pehanga kia rite ki te kereme 4, kei reira te paparanga patunga tapu

He waro amorphous te rauemi;

Ko nga hau e werohia ana i roto i te mahi tarai i te paparanga mea patunga tapu ko O2, CO, N2 me Ar;

Ko nga tawhā i roto i te tukanga o te tarai i te paparanga taonga patunga tapu ko: ko te awhe rere o O2 ko 18 SCCM ~ 22 SCCM, me te rere o te CO ko 10%.

Ko te rere o te rere mai i te 90 SCCM ki te 110 SCCM, ko te rere o te rere o te N2 mai i te 90 SCCM ki te 110 SCCM, me te rere o Ar.

Ko te awhe ko te 90 SCCM ~ 110 SCCM, ko te awhe pehanga ko 90 mtor ~ 110 mtor, a ko te mana rītaha he

540w～660w.